首页 > Scrubber尾气处理设备 > WFS-100A吸附式local scrubber 尾气处理设备
  • Scrubber尾气处理设备

WFS-100A吸附式local scrubber 尾气处理设备

3777金沙娱场城专业研发设计制造高纯工艺气体系统电子特气工艺尾气处理设备local scrubber

WFS-100F吸附式local scrubber 尾气处理设备可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。


定制咨询 0755-27919860

产品详情

3777金沙娱场城专业研发设计制造高纯工艺气体系统电子特气工艺尾气处理设备local scrubber

WFS-100F吸附式local scrubber 尾气处理设备可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。


全国统一服务热线

0755-27919860

邮箱 :info@szwofei.com

总部地址:广东省深圳市宝安区福永福海街道新和新兴工业园三区4栋2楼